Strukturformel
Keile zur Verdeutlichung der Geometrie
Allgemeines
Name	Trichlorsilan
Andere Namen	Trichlormonosilan Siliciochloroform Siliciumchloroform Sitri TCS
Summenformel	SiHCl3
Kurzbeschreibung	farblose Flüssigkeit mit stechendem Geruch[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 10025-78-2 EG-Nummer 233-042-5 ECHA-InfoCard 100.030.026 PubChem 24811 Wikidata Q419041
Eigenschaften
Molare Masse	135,45 g·mol−1
Aggregatzustand	flüssig[1]
Dichte	1,34 g·cm−3[1]
Schmelzpunkt	−134 °C[1]
Siedepunkt	32 °C[1]
Dampfdruck	660 hPa (20 °C)[1]
Löslichkeit	heftige Zersetzung in Wasser[1]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung aus Verordnung (EG) Nr. 1272/2008 (CLP),[2] ggf. erweitert[1] Gefahr H- und P-Sätze H: 224​‐​260​‐​302​‐​331​‐​314 EUH: 014​‐​029​‐​071 P: 210​‐​231+232​‐​280​‐​303+361+353​‐​304+340​‐​305+351+338[1]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Trichlorsilan (auch Trichlormonosilan oder Siliciumchloroform genannt) ist eine Verbindung aus der Gruppe der Halogensilane.

Industriell wird Trichlorsilan durch Reaktion von Chlorwasserstoff mit Silicium bei hohen Temperaturen hergestellt. Dieses Verfahren wurde bereits 1857 bei der ersten Synthese von Friedrich Wöhler und Heinrich Buff beschrieben.^[3]

${\displaystyle \mathrm {Si+3\ HCl\rightarrow SiHCl_{3}+H_{2}} }$

Auch bei der Reaktion von Tetrachlorsilan mit Silicium und Wasserstoff bei erhöhter Temperatur wird Trichlorsilan gebildet.^[4]

${\displaystyle \mathrm {3\ SiCl_{4}+\ 2\ H_{2}\ +\ Si\ {\xrightarrow {550\ K}}\ 4\ SiHCl_{3}} }$

Trichlorsilan ist eine bei Standardbedingungen flüssige Verbindung. Die farblose, rauchende, hochentzündliche Flüssigkeit verströmt einen stechenden Geruch. Die Dämpfe sind schwerer als Luft und breiten sich daher am Boden aus, was eine Fernzündung ermöglicht. Bereits durch bloßen Kontakt mit Luft ist Selbstentzündung möglich. Bei Erhitzung zersetzt sich die Verbindung und es entstehen giftige oder ätzende Gase wie beispielsweise Chlorwasserstoff (HCl). In Gegenwart verschiedener Katalysatoren erfolgt Disproportionierung in Tetrachlorsilan und Monosilan:^[4]

${\displaystyle \mathrm {4\ SiHCl_{3}\ {\xrightarrow {Katalysator}}\ 3\ SiCl_{4}\ +\ SiH_{4}} }$

Trichlorsilan reagiert heftig mit Oxidationsmitteln, Aminen, Ammoniak, Aceton und starken Säuren. Metalle werden von Trichlorsilan angegriffen, wobei brennbare Gase (wie beispielsweise Wasserstoff) gebildet werden.

Zur Beförderung wird Trichlorsilan der Klasse 4.3 zugeordnet und hat die Gefahrenkennzeichnung X338 (leicht entzündlich, ätzend, mit Wasser gefährlich reagierend).

Trichlorsilan ist Zwischenprodukt bei der Herstellung von Solarsilicium. Das zu reinigende Silicium reagiert mit Chlorwasserstoff zu Trichlorsilan und Wasserstoff, wobei als Nebenprodukte auch Siliciumtetrachlorid SiCl₄, Hexachlordisilan Si₂Cl₆ und Dichlorsilan SiH₂Cl₂ entstehen:

${\displaystyle {\ce {Si + 3 HCl -> SiHCl3 + H2}}}$

Danach wird das Trichlorsilan in einem aufwändigen Verfahren destilliert und an beheizten Reinstsiliciumstäben zu Silicium, Siliciumtetrachlorid und Chlorwasserstoff zersetzt:

${\displaystyle {\ce {2 SiHCl3 -> Si + SiCl4 + 2 HCl}}}$

• Octadecyltrichlorsilan (OTS)
• Perfluoroctyltrichlorsilan (PFOTCS)
• Perfluordecyltrichlorsilan (FDTS)

Commons: Trichlorosilan – Sammlung von Bildern, Videos und Audiodateien

1. ↑ ^{a b c d e f g h i} Eintrag zu Trichlorsilan in der GESTIS-Stoffdatenbank des IFA, abgerufen am 3. Januar 2023. (JavaScript erforderlich)
2. ↑ Eintrag zu Trichlorsilan im Classification and Labelling Inventory der Europäischen Chemikalienagentur (ECHA), abgerufen am 26. Juli 2023. Hersteller bzw. Inverkehrbringer können die harmonisierte Einstufung und Kennzeichnung erweitern.
3. ↑ H. Buff, F. Wöhler: Ueber neue Verbindungen des Siliciums. In: Annalen der Chemie und Pharmacie. Band 104, Nr. 1, 1857, S. 94–109, doi:10.1002/jlac.18571040108. 
4. ↑ ^{a b} Barry Arkles: Silanes. (pdf) Reprint from Kirk-Othmer Encyclopedia of Chemical Technology, Forth Edition, Volume 22, S. 38–69. In: Gelest. S. 39, abgerufen am 10. Dezember 2016 (englisch).