Strukturformel
Keile zur Verdeutlichung der Geometrie
Allgemeines
Name	Monofluorsilan
Andere Namen	Fluorsilan
Summenformel	SiH3F
Kurzbeschreibung	farbloses Gas[1]
Externe Identifikatoren/Datenbanken
CAS-Nummer 13537-33-2 EG-Nummer 236-909-6 ECHA-InfoCard 100.033.539 PubChem 66390 Wikidata Q16712763
Eigenschaften
Molare Masse	50,11 g·mol−1
Aggregatzustand	gasförmig
Dichte	2,048 g·l−1[1]
Schmelzpunkt	−98,6 °C[2]
Sicherheitshinweise
GHS-Gefahrstoffkennzeichnung keine Einstufung verfügbar[3]
Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen (0 °C, 1000 hPa).

Monofluorsilan ist eine chemische Verbindung aus der Gruppe der Silane.

Monofluorsilan kann durch Reaktion von Fluormethan mit Silicium^[4] oder Reaktion von Silylmethylether mit Bortrifluorid^[5] oder Reaktion von Monochlorsilan mit Antimon(III)-fluorid gewonnen werden.^[6]

${\displaystyle \mathrm {3\ SiH_{3}Cl+SbF_{3}\ \longrightarrow \ SiH_{3}F+SbCl_{3}} }$

Monofluorsilan ist ein farbloses Gas.^[1] Es besitzt als Feststoff bei 96 K eine monokline Kristallstruktur mit der Raumgruppe P2₁/n (Raumgruppen-Nr. 14, Stellung 2)Vorlage:Raumgruppe/14.2 und geht bei Normaldruck direkt in den gasförmigen Zustand über.^[7]

Monofluorsilan kann zur Herstellung von Siliciumschichten verwendet werden.^[8]

1. ↑ ^{a b c} William M. Haynes: CRC Handbook of Chemistry and Physics, 93rd Edition. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-8050-0, S. 87 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
2. ↑ Dale L. Perry: Handbook of Inorganic Compounds, Second Edition. CRC Press, 2016, ISBN 978-1-4398-1462-8, S. 179 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
3. ↑ Dieser Stoff wurde in Bezug auf seine Gefährlichkeit entweder noch nicht eingestuft oder eine verlässliche und zitierfähige Quelle hierzu wurde noch nicht gefunden.
4. ↑ Han-Gook Cho: Investigation of Reaction Paths from Si + CH4 to C + SiH4 and from Si + CH3F to C + SiH3F: Intrinsic Reaction Coordinate Studies. In: Journal of the Korean Chemical Society. 60, 2016, S. 149, doi:10.5012/jkcs.2016.60.2.149.
5. ↑ Advances in Inorganic Chemistry and Radiochemistry. Academic Press, 1961, ISBN 978-0-08-057852-1, S. 236 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
6. ↑ C. C. Addison: Inorganic Chemistry of the Main-Group Elements. Royal Society of Chemistry, 1973, ISBN 978-0-85186-752-6, S. 188 (eingeschränkte Vorschau in der Google-Buchsuche). 
7. ↑ A. J. Blake, E. A. V. Ebsworth, S. G. D. Henderson, A. J. Welch: Structure of silyl fluoride, SiH3F, at 96 K. In: Acta Crystallographica Section C Crystal Structure Communications. 41, S. 1141, doi:10.1107/S0108270185006904.
8. ↑ Akihisa Matsuda, Kiyoshi Yagii, Takao Kaga, Kazunobu Tanaka: Glow-Discharge Deposition of Amorphous Silicon from SiH3F . In: Japanese Journal of Applied Physics. 23, 1984, S. L576, doi:10.1143/JJAP.23.L576.